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非标定制2-8英寸扩散炉,适用于扩散、氧化、退火、合金、烧结等产品工艺
产品标签 | 扩散炉 硼磷扩散 氧化 退火 合金
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不限
主要应用于半导体硅片生产的用于扩散、氧化、退火、合金、烧结等产品工艺。
主要参数:
1、管数:1-4管
2、工艺管尺寸:2-8寸
3、工作温度:200-1285℃
4、恒温区长度:300-1200mm
5、升温速率:3-15℃/min
6、控制结构:仪表、触摸一体机、电脑
7、气源种类:按工艺要求配置
8、气体控制:浮子流量计、MFC
9、进出料方式:手动、自动(悬臂桨)
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